在三維表面測量領域，白光干涉已成為最有效的方法之一。由於其幾乎無限的分辨率和快速的響應時間，壓電致動器能夠顯著提高精度和速度。

piezosystem jena推出了新的MIPOS 16-158 - 專門設計用於光學系統的高精度定位，準確度在亞納米範圍內。 MIPOS 16的高分辨率和快速響應時間為乾涉測量提供了新的可能性。
基於其獨特的設計，孔徑104 mm，台高42 mm，MIPOS 16-158提供了符合白光干涉測量要求的技術規格。
MIPOS 16-158可以實現高達16μm的聚焦範圍和小於0.1nm的單步分辨率，同時工作電壓範圍在-20至130V之間.MIPOS 16-158可以集成到計量設置中和設備。