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行业应用
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使用白光干涉仪对表面进行非接触式3D检测

工业和研究领域的表面检测对许多制造工艺都很重要。今天,光学测量方法提供的分辨率可以达到纳米级。这样的景深需要使用高分辨率的纳米定位器。

PJ压电系统的MIPOS 500 SG是白光干涉仪smartWLI的主要组件之一。 MIPOS 500 SG提供高达500μm的运动范围,能够将最多500克的物镜进行高频率谐振。

白光干涉仪smartWLI的modell是光学显微镜的升级版。这个系统是由GBS mbH,Ilmenau开发和制造的,适用于所有知名的显微镜制造商, 例如蔡司,徕卡,尼康,奥林巴斯,MT RATHENOW。通过使用smartWLI系统,用户可以将普通的2D光学显微镜升级为3D表面测量系统。